利用熱應力傳導效應,采用優異的紫外激光器、配合全自動精確定位與檢測系統,對硅晶圓表面進行快速切割。切口質量精細,熱影響小。
多種激光運行模式與光束整形,保證切口質量和效率
獨有的波前校正技術確保高精度加工和一致性
自動定位、自動調焦、自動檢測,保證生產良率
可實現大圖形自動分切或手動分切選擇,拼接精度高達 ±1um
支持翹曲片、TAIKO 片傳片
硅晶圓、TAIKO 環
Si 基 TAIKO 片切割工藝,以及晶圓切割、劃片。
Chengdu Laipu Technology co.,LTD